[发明专利]可检测挠曲力量与电性的夹具有效
申请号: | 200810181063.6 | 申请日: | 2008-11-20 |
公开(公告)号: | CN101738345A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 温博浚;叶欣达;陈政宪;柯心怡;钟宗颖 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01N3/20 | 分类号: | G01N3/20;G01J1/00;G01J3/00;G01B11/16;G01R31/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种可检测挠曲力量与电性的夹具,用于夹持一基板,该夹具包含:一基座;一夹持头,固定于该基座,该夹持头由一夹持片以及与该夹持片结合的一固定片所组成;以及,至少一力量感测单元,固定于该基座且接触该夹持头;其中,该夹持头上设有两个电极,且当该夹持头夹持住基板后,该电极会与基板相接触。 | ||
搜索关键词: | 检测 挠曲 力量 夹具 | ||
【主权项】:
一种可检测挠曲力量与电性的夹具,用于夹持一基板,该夹具包含:一基座;一夹持头,固定于该基座,该夹持头由一夹持片以及与该夹持片结合的一固定片所组成;以及至少一力量感测单元,固定于该基座且接触该夹持头;其中,该夹持头上设有两个电极,且当该夹持头夹持住基板后,该电极会与基板相接触。
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