[发明专利]可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜有效
申请号: | 200810162743.3 | 申请日: | 2008-12-01 |
公开(公告)号: | CN101424748A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
发明(设计)人: | 顾培夫;艾曼灵;张梅骄;陈海星;金波 | 申请(专利权)人: | 杭州科汀光学技术有限公司 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10 |
代理公司: | 杭州中平专利事务所有限公司 | 代理人: | 翟中平 |
地址: | 311100浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜,膜系由高折射率基板上的低折射率氟化物膜和高折射率硫化物膜的交替多层膜组成。通过选取各层膜的厚度,就可实现可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜。可见区0.44-0.68μm、1.06μm和8-12μm各波段的平均反射率由未镀膜时的约20%,17%和14%分别降低到0.30%,0.04%和0.62%,从而为多模制导提供了一个有效的器件。 | ||
搜索关键词: | 可见 1.06 12 波段 高效 减反射膜 | ||
【主权项】:
1、一种可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜,它包括基底,其特征是:位于基板上的多层低折射率氟化物膜和多层高折射率硫化物膜交替叠加构成。
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