[发明专利]基于狭缝波导的数字型硅光波导开关

摘要

本发明公开了一种基于狭缝波导的数字型硅光波导开关。包括输入波导结构，两根狭缝波导结构的分支臂和输出波导结构；三个结构依次相连，两根狭缝波导结构的分支臂的狭缝两侧的波导为硅波导，狭缝中填充电光材料。两根分支臂的宽度为对称或不对称。输入单模波导通过第一组模斑转换结构与分支前的波导相连。分支臂通过第二组模斑转换结构与输出单模波导相连。引入的狭缝波导，在狭缝中填充了低折射率的电光材料，扩大了调制手段，引入了直接电光调制；此外采用狭缝两侧自然电隔离的硅波导作为电极，缩短了电极与调制区的间距。多狭缝的引入可以在相同器件长度下，增大两分支臂的分支间距。本开关结构兼容于CMOS加工工艺。

主权项

1、一种基于狭缝波导的数字型硅光波导开关，其特征在于：包括输入波导结构(17)，两根狭缝波导结构的分支臂(4)和输出波导结构(18)；三个结构依次相连，两根狭缝波导结构的分支臂(4)的狭缝两侧的波导为硅波导(10)，狭缝(11)中填充电光材料。