[发明专利]用于少量液体的喷射装置

摘要

问题：提供一种少量液体的喷射装置，用于将如液体感光保护剂、表面保护膜、功能涂覆剂等特别精细的液体雾化、且将其涂抹到如半导体硅片、玻璃基板等涂敷目标以形成薄膜。解决手段：当分配液体时针状针尖端部分(8A)和第一喷嘴孔(7a)之间的打开间隙由针运动量调节装置(2C)调节非常微小量，且液体沿针尖端部分(8A)从第一喷嘴孔(7a)渗出，通过流过第一雾化压缩气体通道(5A)的第一雾化压缩气体使液体形成微小颗粒，且将液体从第二喷嘴孔(9a)排出，排出流流过第三喷嘴孔(10a)并被排出，第三喷嘴(10)的第二级雾化/涡流的形成的压缩气体与排出流相遇，由此使排出流形成更小的颗粒，并旋转和分散并被涂抹到涂敷目标。

主权项

1.一种使小量液体成为微小颗粒并将其涂抹到涂敷目标上的喷射装置，包括：液体供应通道；极纤细的针，所述针的尖端部分是针状的、长的、纤细的且渐细的；第一喷嘴，所述第一喷嘴与所述针的所述尖端部分组成阀机构，所述第一喷嘴具有极窄的第一喷嘴孔，所述第一喷嘴孔的形状与所述针尖端部分对应，其中所述针尖端部分能够可插入地装配到所述第一喷嘴孔中；第二喷嘴，所述第二喷嘴围绕所述第一喷嘴的周边，并与所述第一喷嘴形成环形的第一雾化压缩气体通道，并且所述第二喷嘴具有形成在其下端处的小直径的第二喷嘴孔；第三喷嘴，该第三喷嘴位于所述第二喷嘴的下端处，其中所述第三喷嘴的第三喷嘴孔形成为围绕所述第二喷嘴的第二喷嘴孔，其中用于第二雾化/涡流的形成的多个压缩气体供应通道形成在所述第三喷嘴孔的周边处；和针运动量调节装置，该针运动量调节装置设置为使得它能够接触所述针的后端，并且能够实现对所述针状的针尖端部分与所述第一喷嘴的第一喷嘴孔的打开间隙的极微小量的调节；当分配液体时，液体沿所述针尖端部分从所述第一喷嘴的第一喷嘴孔渗出，并且通过流过所述第一雾化压缩气体通道的第一雾化压缩气体使所述液体成为微小颗粒，并且将所述液体从所述第二喷嘴的第二喷嘴孔排出，然后所述排出流穿过所述第三喷嘴的第三喷嘴孔并被排出，并且第二雾化/涡流的形成的压缩气体与所述排出流相遇，由此使所述排出流成为甚至更小的颗粒，并且旋转且散开，并被涂抹到所述涂敷目标上。