[发明专利]排气捕集装置无效
| 申请号： | 200810127266.7 | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101371958A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 辻德彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D45/08 | 分类号： | B01D45/08;C23C16/44;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种排气捕集装置，在捕集通过气体排气路径的排出气体中的析出物的排气捕集装置(100)中，沿着排气路径串联配置多个排气捕集部件(110、120、130)，其构成使排出气体在内部通过的排气通路。在各个捕集部件内的排气捕集部分上设置多个冲突板。上游侧的捕集部件(110、120)的排气捕集部分的冲突板，配置为在该排气通路内存在沿着排气通路的轴线方向连续地延伸而不被配置在该排气通路内的冲突板遮断的空间。下游侧的排气捕集部件(130)内的排气捕集部分的冲突板配置为不存在该空间。由此，可不进行复杂的控制而抑制反应副生物等的析出物堆积量的偏置，还可以可靠减少析出成分向排气捕集装置的下游侧流出。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 集装 | ||
【主权项】：
1.一种排气捕集装置，从通过气体的排气路径的排出气体中捕集析出物，其特征在于，沿着所述排气路径串联配置多个形成有使排出气体通过其各自的内部的排气通路的排气捕集部分；所述多个排气捕集部分包含配置在排出气体的流动方向的上游侧的第一排气捕集部分、和配置在下游侧的第二排气捕集部分；在所述第一和第二排气捕集部分上分别设有冲突板；所述第二排气捕集部分的排气通路的轴线和冲突板形成的角度，比所述第一排气捕集部分的排气通路的轴线与冲突板形成的角度大。
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