[发明专利]静压导向装置无效
| 申请号： | 200810109424.6 | 申请日： | 2008-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101319692A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 角谷修;近藤豊;和田庄司 | 申请（专利权）人： | 株式会社新川 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C32/00 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所 | 代理人： | 王礼华 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静压导向装置。本发明的课题在于，在利用磁铁产生的吸引力的静压导向装置中，能确保宽广的轴承面积。静压导向装置(10)包含导向台(12)，移动台(20)，安装在移动台(20)上的上浮量传感器(38)和控制部(80)。移动台(20)设有内侧部以及覆盖该内侧部的侧面和上面的外壳部。所述内侧部埋入包含磁轭(30)和电磁铁(32)的磁吸引部。内侧部在收纳磁轭(30)和电磁铁(32)后，用具有适当强度的材料填充其周围等的间隙空间，与外壳部一体化，移动面(22)作为一体被施以平坦化加工。在移动台(20)周围设有围槽(26)，供给到这里的加压流体面向导向台(12)喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 导向 装置 | ||
【主权项】：
1.一种静压导向装置，向一方台和他方台之间的间隙供给加压流体，使一方台和他方台之间保持所定的上浮间隔，其特征在于：一方台设有：围槽，设在与他方台对向的一方对向面上，对喷出的加压流体进行环状导向；磁吸引部，设在由围槽围住部分的台内部，使一方台和他方台之间产生磁吸引。
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