[发明专利]一种基于超导薄膜材料的单光子探测器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种基于超导薄膜材料的单光子探测器，包括一个用于耦合、传输和调节入射的光信号的光路系统，一个低温环境下用于检测入射的光子信号的超导器件和一个用于电信号的读出及处理分析的电学系统。本发明还公开了一种单光子探测器所用超导器件的制造方法，该方法包括以下步骤：超薄超导薄膜生长：超导器件的图形设计和微加工。本发明所述的单光子探测器具有灵敏度高，暗计数低，重复速率快等优点，在众多邻域具有重要的应用前景。

主权项

1、一种基于超导薄膜材料的单光子探测器，其特征是该探测器包括：一个用于耦合、传输和调节入射的光信号的光路系统，由光源、光功率衰减器、可调光功率衰减器、光纤耦合器和光功率计组成；一个低温环境下用于检测入射的光子信号的超导器件；一个用于电信号的读出及处理分析的电学系统，由偏置电源、偏置树、放大器、光子计数器组成，电源接到偏置树的直流段，在电源端直接并联一个电阻，偏置树的射频端连接到放大器上，通过放大器放大的信号用高速示波器显示波形，用数字计数器显示光子重复速率，偏置树的另外一端与器件的共面波导连接。