[发明专利]平板玻璃基板的减薄方法及装置有效
| 申请号： | 200810101201.5 | 申请日： | 2008-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN101234853A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王乾旭;王道鹏;李晓军;史华威 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;京东方(河北)移动显示技术有限公司;京东方现代(北京)显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平板玻璃基板的减薄方法及装置，首先，蚀刻液在药剂配比槽内进行混配和温度处理；配好的蚀刻液被快速抽入蚀刻槽中，将玻璃基板放入蚀刻槽中，采用鼓泡和蚀刻液自循环的方式对玻璃基板进行蚀刻；蚀刻后将玻璃基板取出，蚀刻液快速倒入暂存槽进行暂存并沉淀，以备下次蚀刻玻璃基板时，重新配比并使用；对完成蚀刻减薄后的玻璃基板进行清洗、干燥，并进行抛光。本发明提供了一种平板玻璃基板的减薄方法及装置，通过采用药剂循环及鼓泡的蚀刻方法，可以实现玻璃基板的均匀蚀刻，并达到批量生产的目的，以提供薄型玻璃基板产品，并提高良品率及量产性。 | ||
| 搜索关键词： | 平板玻璃 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种平板玻璃基板的减薄装置，其特征在于包括：药剂配比槽，用于混配和温度处理蚀刻液；蚀刻槽，用于采用鼓泡方式和循环方式蚀刻玻璃基板，与所述药剂配比槽相连接；至少一个暂存槽，用于暂存并沉淀蚀刻残液，与所述蚀刻槽和药剂配比槽相连接。
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