[发明专利]曝光装置无效

专利信息
申请号: 200810099206.9 申请日: 2008-05-08
公开(公告)号: CN101303538A 公开(公告)日: 2008-11-12
发明(设计)人: 铃木俊也 申请(专利权)人: 哈利盛东芝照明株式会社
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42;G02F1/1333;G21K5/00;H01J61/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 方晓虹
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种具有制造成品合格率良好的窗部件的曝光装置。滤波器(6)通过将多个瓦状滤波器(10)组合后配置在玻璃板(5)的表面上而构成。滤波器(6)在玻璃板(5)的表面上无间隙地彼此接触配置,其整周端部被框体(4)所具有的按压肋(7)保持。瓦状滤波器(10)的端部被斜向切除以使端面分别形成斜面,从而瓦状滤波器(10)的垂直截面呈大致梯形。将这样的瓦状滤波器(10)以端部彼此无间隙地接触的形态铺设在玻璃板(10)上,它们的接触面(9)形成为在上下相互重叠。
搜索关键词: 曝光 装置
【主权项】:
1.一种曝光装置,包括:电极,该电极配置在玻璃管内的放电空间内,在所述玻璃管内封入有稀有气体、水银和卤素金属;电源,该电源与所述电极连接,用于提供点灯所需的电力;以及滤波器,该滤波器用于对所述点灯产生的光仅使特定波长带域透射,其特征在于,所述滤波器由多个瓦状滤波器彼此无间隙地接触组合而成。
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