[发明专利]垂直式探针卡的探针无效
| 申请号： | 200810098449.0 | 申请日： | 2008-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101587134A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈彬龙;陈皇志 | 申请（专利权）人： | 祐邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 翟 羽 |
| 地址： | 台湾省新竹市光*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种垂直式探针卡的探针。本发明的技术手段主要是在垂直式探针卡的探针针尖处约1～10密耳的表面上，镀上纳米镀膜厚度为1～20纳米的高导电性高分子材料。借助于这种镀膜，本发明垂直式探针上的纳米镀膜可有效地使探针具备不沾粘、高导电性、降低接触力、延长寿命的优良质量，因此可以提高晶圆测试的良率，降低探针的清洁频率，并降低整体测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 探针 | ||
【主权项】：
1.一种垂直式探针卡的探针，由金属材料制成，用于装置在所述垂直式探针卡上，其特征在于：所述探针上镀有导电高分子纳米镀膜。
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