[发明专利]垂直腔表面发射激光器

摘要

本发明提供一种垂直腔表面发射激光器，其能够高效地将载流子注入光子晶体镜正下方的活性区域。所述垂直腔表面发射激光器包括：第一反射镜(102)，其构成下镜；第二反射镜(112)，其构成上镜；活性层(106)，其被提供在衬底(100)上的所述反射镜之间。所述第二反射镜(112)包括周期性布置在平行于所述衬底的表面的平面中的周期性折射率结构，所述周期性折射率结构包括具有导电性的第一介质(1100)和具有比第一介质(1100)的折射率低的折射率的第二介质(1102)。在所述周期性折射率结构的下侧，由具有比第一介质(1100)的折射率低的折射率的第三介质(1104)构成的层结构被嵌入所述第一介质(1100)中。

主权项

1.一种垂直腔表面发射激光器，包括：第一反射镜，其构成下镜；第二反射镜，其构成上镜；活性层，其形成在所述第一反射镜和所述第二反射镜之间；以及衬底，所述第一反射镜、所述第二反射镜以及所述活性层形成在所述衬底上，其中，所述第二反射镜具有周期性折射率结构，其中，在平行于所述衬底的表面的平面中周期性地提供具有导电性的第一介质和具有比所述第一介质的折射率低的折射率的第二介质，并且在所述周期性折射率结构的下侧，由具有比所述第一介质的折射率低的折射率的第三介质制成的层结构被嵌入所述第一介质中。