[发明专利]废气处理系统及处理方法无效
| 申请号： | 200810091629.6 | 申请日： | 2008-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101554562A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 李沅民;杨与胜 | 申请（专利权）人： | 福建钧石能源有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/46 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;张 波 |
| 地址： | 362000福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种废气处理系统及处理方法，该废气处理系统包括：炉体，具有炉壁和顶盖，且定义炉室；燃料，置于该炉室中，且所述燃料中有供气体流过的间隙；空气进口，设置于该炉体下部；出气口，设置于该炉体上部；以及废气进口，其中待处理的废气从该废气进口进入炉室，且流经燃烧的燃料之间的间隙。这种废气处理装置具有不可比拟的性价比，特别适用于大规模半导体和真空镀膜生产过程中所排出的硅烷或其它可燃或可热沉积的废气的高效率处理。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种废气处理系统，包括：炉体，具有炉壁和顶盖，且定义炉室；燃料，置于该炉室中，且所述燃料中有供气体流过的间隙；空气进口，设置于该炉体下部；出气口，设置于该炉体上部；以及废气进口，其中待处理的废气从该废气进口进入炉室，且流经燃烧的燃料之间的间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建钧石能源有限公司，未经福建钧石能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810091629.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
