[发明专利]激光加工装置、定位装置、观察装置及观察方法

摘要

提供能够在观察像中明确地识别在透明基板上形成的不透明的器件图案的观察方法和观察装置。在形成有器件图案(3)的一侧粘贴粘接板(4)，将透明基板固定于透明的承载台(7)，从承载台(7)的上方重叠地照射同轴透射照明光(L1)和斜射透射照明光(L2)，通过使用背面观察单元(6)从承载台(7)的下方经由承载台(7)进行观察，在观察像中，对应于器件图案(3)观察到暗的(黑色的)器件图案像，和除器件图案像以外的明亮的部分。并且，对应于气泡的部分很明亮。从而能够在观察像中明确地确定器件图案(3)的形状。

主权项

1.一种激光加工装置，具有用于观察在作为被加工物的透明基板的一侧主面形成的不透明部分的观察装置，其特征在于，上述观察装置具有：支撑上述透明基板的支撑单元，照射同轴照明光的同轴照明光源，照射斜射照明光的斜射照明光源，以及从上述透明基板的第一主面一侧观察上述透明基板的观察单元；其中，上述支撑单元以通过上述观察单元能够观察的方式支撑上述透明基板，上述同轴照明光源和上述斜射光源从第二主面一侧对上述透明基板分别照射上述同轴照明光和上述斜射照明光，该第二主面是上述透明基板的位于上述第一主面的相反一侧的主面。