[发明专利]位置检测器有效
申请号: | 200810085717.5 | 申请日: | 2008-03-13 |
公开(公告)号: | CN101266154A | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 林康一 | 申请(专利权)人: | 大隈株式会社 |
主分类号: | G01D5/244 | 分类号: | G01D5/244 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄威;徐金伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种用于检测目标位移的位置检测器。设置有两个位置传感器,用于输出两种信号,所述信号关于目标位移以波长λ的间距进行正弦变化,并且具有相互以90度转换的相位。存储器单元在其中存储了用于两种信号的偏移值,两个减法器分别从所述两种信号中消除偏移值。消除偏移之后的所述两种信号在内插计算器中被转换为位置数据。半径计算器计算两种信号在偏移消除之后的半径值。FFT基于位置数据和半径值计算偏移值,并且所述计算出的偏移值被用于更新存储在存储器单元中的值。类似地,更新用于两种信号的振幅比校正值和相位差校正值。通过在每个旋转位置执行消除降低内插精度的分量,提高了内插精度。 | ||
搜索关键词: | 位置 检测器 | ||
【主权项】:
1、一种用于检测目标位移的位置检测器,包括:位置传感器,其输出两种信号,所述信号关于位移以波长λ的间距进行正弦变化,并且具有相互以90度转换的相位;偏移存储器,其存储关于从位置传感器输出的所述两种信号的偏移值;偏移消除电路,其从输出自位置传感器的相应的两种信号中消除存储在偏移存储器中的偏移值;内插计算器,其在所述偏移消除之后将所述两种信号转换为位置数据;半径计算器,其在所述偏移消除之后计算所述两种信号的和的平方根;及偏移值计算器,其基于当测量出的位移以波长λ的整数倍改变时所获得的位置数据和来自半径计算器的输出值,来计算待存储于偏移存储器中的偏移值;其中利用在偏移值计算器中获得的偏移值,来更新存储在偏移存储器中的偏移值。
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