[发明专利]基于集成平面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器无效
| 申请号： | 200810079473.X | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101387496A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张文栋;熊继军;薛晨阳;闫树斌;吉喆;严英占;王少辉;王宝花;姜国庆 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;B81B7/02 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所（有限公司） | 代理人： | 李印贵 |
| 地址： | 03005*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于集成面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，它包括平面环形微腔、光波导、基底、与光波导相连的入射光纤及出射光纤，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合；其特点是所述微位移传感器还有悬臂梁与探针，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面；是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境，被测物体范围广，除普通的金属，非金属物质表面外，也可对生物细胞进行表面测量。其测量精度可达10-4埃。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 集成 平面 环形 悬臂梁 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种基于集成平面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，包括平面环形微腔(1)、光波导(2)、基底(5)、与光波导相连的入射光纤(6)及出射光纤(7)，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合，平面环形微腔与光波导之间存在有0～2um距离；其特征在于：所述微位移传感器还有悬臂梁(3)与探针(4)，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面。
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