[发明专利]基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法有效
| 申请号： | 200810063985.7 | 申请日： | 2008-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN101221359A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 金鹏;高育龙;朱鹏;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法，涉及微光学元件制作技术；该方法制作具有多台阶或连续浮雕结构特征的反射式微光学元件包括以下五个步骤：①应用微细加工技术制备用于热压印的压模；②应用热压印将压模的浮雕结构压印到聚合物薄片上；③在具有表面浮雕结构的聚合物表面蒸镀金属层；④应用电铸技术进行支撑结构加工，材料与蒸镀金属一致；⑤将聚合物剥离。本发明所得到的反射式微光学元件为单一金属材料，在高温等恶劣的工作环境下具有高稳定性，高强度、高硬度、高抗辐射损伤阈值的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压印 技术 金属材料 反射 式微 光学 元件 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法，该方法制作具有多台阶或连续浮雕结构特征的反射式微光学元件包括以下步骤：①应用微细加工技术制备用于热压印的压模；②应用热压印将压模的浮雕结构压印到聚合物薄片上；其特征在于该方法还包括以下三个步骤：③在具有表面浮雕结构的聚合物表面蒸镀金属层；④应用电铸技术进行支撑结构加工，材料与蒸镀金属一致；⑤将聚合物剥离。
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