[发明专利]用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法有效
| 申请号： | 200810061678.5 | 申请日： | 2008-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101290218A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘东;杨甬英;田超;卓永模 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。包括如下步骤：1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模；2)根据被测非球面的理论面形，模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前；3)将被测非球面的参数设为变量，利用光线追迹，以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化；4)判断优化是否结束，若结束，则结束误差校正优化，否则继续等待优化结束，优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。本发明可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。通过优化迭代进行补偿。理论上来说，本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正，是一种可以实现高精度的补偿方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校正 球面 零位 检测 原理 误差 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法，其特征在于包括如下步骤：1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模；2)根据被测非球面的理论面形，模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前；3)将被测非球面的参数设为变量，利用光线追迹，以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化；4)判断优化是否结束，若结束，则结束误差校正优化，否则继续等待优化结束，优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。
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