[发明专利]一种集成多级二维光学微机电系统光开关

摘要

本发明涉及一种集成多级二维关学微机电系统光开关及实现光路径交换方法，该关开关的输入/输出端口数为N，N为2的整数倍，关开关中的微镜分为N级，从第1到第N从左到右依次排列，同一级两个微镜之间的距离为p，每相邻两级微镜之间的距离为p/2，每一奇数级具有N/2个双面镜，每一偶数级具有N/2－1个双面镜；所述双面镜具有开、关两种状态；在每一偶数级微镜中，距离第一个微镜的上方p处有固定的单面镜，距离第N/2－1个微镜的下方p处有固定的单面镜，所述单片镜为开状态，该方法通过对所述光开关中双面镜的状态设置实现从不同的端口输出。利用本发明增强了端口到端口的重复性并降低了光功率损耗、降低了光束扩散损耗。

主权项

1.一种集成多级二维关学微机电系统光开关，所述关开关的输入/输出端口数为N，其中N为2的整数倍，同一级两个微镜之间的距离p，其特征在于：第一个输入端口到第N个输入端口从上到下依次排列，第一个输入端口与第二个输入端口之间的距离为p，从第二个输入端口起，第n个的输入端口与第n+2个输入端口之间的距离为p，第n个输入端口与第n+1个输入端口处于同一位置，其中n为偶数，且n+2小于N，处于同一位置的第N-1、N-2个输入端口与第N个输入端口之间的距离为p；所述关开关中的微镜分为N级，第1级到第N级从左到右依次排列，每相邻两级微镜之间的距离为p/2，输入端口到第一级微镜之间的距离为p/2；每一奇数级具有N/2个双面镜，依次分布在每两个相邻的且处于不同位置的输入端口之间的中间位置，每一偶数级具有N/2-1个双面镜，依次分布在奇数级微镜中每两个相邻微镜之间的中间位置；所述双面镜具有开、关两种状态；在每一偶数级微镜中，距离第一个微镜的上方p处有固定的单面镜，距离第N/2-1个微镜的下方p处有固定的单面镜，所述单片镜为开状态。