[发明专利]一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置有效
申请号: | 200810036437.5 | 申请日: | 2008-04-22 |
公开(公告)号: | CN101311335A | 公开(公告)日: | 2008-11-26 |
发明(设计)人: | 施承启;胡如权 | 申请(专利权)人: | 上海卡姆丹克太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;F27B14/04;F27B5/04;C30B35/00 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张美娟 |
地址: | 201314上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明系涉及直拉硅单晶生长炉中热系统的一种快速拆装的装置。一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置,包括下炉筒(14)及下石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的下保温层(13),中炉筒(10)及中石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的中保温层(6),在中炉筒(10)的下边缘向炉内设置至少三块水平托板(12),托板(12)支托一圆环状托盘(11),托盘(11)界于下炉筒(14)内部的下保温层(13)和中炉筒(10)内部的中保温层(6)之间。本发明提供了一种直拉晶体生长炉内热系统快速拆装的装置和方法,改变了国内外现有技术方案,大大提高了单晶炉生产效率和降低了操作者的工作强度,具有很显著的经济效益和突出的技术先进性。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 系统 拆装 装置 | ||
【主权项】:
1.一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置,包括下炉筒(14)及由包括下石墨保温罩、软毡或固化毡组成的下保温层(13),中炉筒(10)及由包括中石墨保温罩和软毡或固化毡组成的中保温层(6),其特征在于,在中炉筒(10)的下边缘向炉内设置至少三块水平托板(12),托板(12)支托一圆环状托盘(11),托盘(11)界于下炉筒(14)内部的下保温层(13)和中炉筒(10)内部的中保温层(6)之间。
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