[发明专利]光学透射球面检测装置无效
申请号: | 200810024553.5 | 申请日: | 2008-03-26 |
公开(公告)号: | CN101545760A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 高志山;朱日宏;陈磊;王青;何勇 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/255;G01M11/02;G02B3/00;G02B1/10 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 | 代理人: | 张骏鸣 |
地址: | 210094*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于透镜凸凹球面面形质量检验的光学透射球面检测装置,其特征是采用球面非接触干涉的方法,通过一组正透镜构成的标准透射球面器具得到曲率半径在一定范围内连续变化的标准球面波,实现对不同曲率半径凸凹球面的检测,被测件的相对孔径检测覆盖范围可达F/0.75~11,具有一具多用、不损伤被检球面表面光洁度以及测试精度高等特点,克服了现有球面样板接触测量的缺点;如果与测量长度的光栅尺、测长干涉仪等配套使用,还可以精确测量球面的曲率半径。可广泛用于光学加工行业中对各种透镜凸凹球面面形质量的检验。 | ||
搜索关键词: | 光学 透射 球面 检测 装置 | ||
【主权项】:
1、一种光学透射球面检测装置,它是由数字波面干涉仪[1]、透射球面器具[2]、干涉图监视器[4]和计算机[5]组成,透射球面器具[2]位于数字波面干涉仪[1]的出射光路上,数字波面干涉仪[1]同时接收透射球面器具[2]获取的图像,经数字波面干涉仪[1]处理后的图像输出信号分别接干涉图监视器[4]和计算机[5],本发明的特征在于透射球面器具[2]是由2~4片光学正透镜组合构成,组合后的球面标准器具[2]的焦点与透射球面标准器具[2]中末尾正透镜[7]球面的球心重合;经球面标准器具[2]后的球面波,正入射被检凸凹球面[3]。
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