[发明专利]微纳米级差压式气针传感器无效
| 申请号： | 200810023381.X | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101251375A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张辉;王凤伟;邓善熙;唐海勇;曾汉平 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B13/00 | 分类号： | G01B13/00;G01B13/16;G01B13/22;G01L13/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 微纳米级差压式气针传感器，其特征是设置差压式气路系统，包括来自气源的压缩空气依次经过滤器、进气阀和稳压器之后分成两支气路；一路是由主喷嘴和串联在其后并以被测面为挡板的测量喷嘴构成；另一路是以稳压器的稳压输出pc直接进入差压式压力传感器的高端气压信号输入端H；差压式压力传感器的低端气压信号输入端L是以位于主喷嘴和测量喷嘴之间的压力信号px为输入信号；以两支气路的差压输出信号Δp＝pc－px为差压式压力传感器的输出信号。本发明尤其适于作圆度、球度、平面度、粗糙度等高精度非接触测量。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 级差 压式气针 传感器 | ||
【主权项】：
1、微纳米级差压式气针传感器，其特征是设置差压式气路系统，包括来自气源(1)的压缩空气依次经过滤器(2)、进气阀(3)和稳压器(4)之后分成两支气路；一路是由主喷嘴(5)和串联在其后并以被测面(8)为挡板的测量喷嘴(6)构成；另一路是以稳压器(4)的稳压输出pc直接进入差压式压力传感器(7)的高端气压信号输入端H；所述差压式压力传感器(7)的低端气压信号输入端L是以位于主喷嘴(5)和测量喷嘴(6)之间的压力信号px为输入信号；以所述两支气路的差压输出信号Δp＝pc-px为差压式压力传感器(7)的输出信号。
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