[发明专利]快开式、水冷结构的多晶硅还原炉

摘要

本发明涉及一种快开式、水冷结构的多晶硅还原炉，整体结构采用立式，包括筒体(1)和底盘(2)。筒体(1)与底盘(2)之间用垫片(4)密封、用快开螺栓(3)压紧。所述筒体(1)包括内筒(1.4)、外筒(1.5)、底法兰(1.9)、内封头(1.2)、外封头(1.3)、导流板(1.6)、冷却水进口(1.8)、冷却水出口(1.1)和水冷双层玻璃视镜(1.7)。所述底盘(2)包括上管板(2.1)、下管板(2.3)、导流板(2.4)、电极(2.2)、进气口(2.7)、出气口(2.5)、冷却水进口(2.6)、冷却水出口(2.8)和放气口(2.9)。所述电极(2.2)包括加热体(2.2.1)、石墨头(2.2.2)、电极体(2.2.3)、电源夹具(2.2.4)、冷却水进口管(2.2.5)和冷却水出口管(2.2.6)。本发明快开式、有可靠冷却结构。可以实现还原炉的长期、安全、高效的运行。

主权项

1、一种快开式、水冷结构的多晶硅还原炉，整体结构采用立式，包括筒体(1)和底盘(2)，筒体(1)设置于底盘(2)之上，其特征在于：所述筒体(1)与底盘(2)之间用垫片(4)密封、用快开螺栓(3)压紧，所述筒体(1)包括内筒(1.4)、外筒(1.5)、底法兰(1.9)、内封头(1.2)、外封头(1.3)、导流板(1.6)、冷却水进口(1.8)、冷却水出口(1.1)和水冷双层玻璃视镜(1.7)，内筒(1.4)、外筒(1.5)、底法兰(1.9)、内封头(1.2)和外封头(1.3)组成一封闭容腔，导流板(1.6)呈螺旋状设置在该封闭容腔内，冷却水进口(1.8)和水冷双层玻璃视镜(1.7)设置在外筒(1.5)上，冷却水出口(1.1)设置在外封头(1.3)上，所述底盘(2)包括上管板(2.1)、下管板(2.3)、导流板(2.4)、电极(2.2)、进气口(2.7)、出气口(2.5)、冷却水进口(2.6)、冷却水出口(2.8)和放气口(2.9)，上管板(2.1)和下管板(2.3)上下叠层布置，上管板(2.1)与下管板(2.3)之间组成一封闭容腔，电极(2.2)、进气口(2.7)和出气口(2.5)穿接在上管板(2.1)和下管板(2.3)上，导流板(2.4)呈螺旋状设置在所述封闭容腔内，下管板(2.3)上设有冷却水进口(2.6)、冷却水出口(2.8)和放气口(2.9)，所述水冷双层玻璃视镜(1.7)包括内筒(1.7.12)、外筒(1.7.13)、法兰III(1.7.10)、法兰II(1.7.8)、法兰I(1.7.7)、内层玻璃(1.7.6)、外层玻璃(1.7.5)、冷却水进口I(1.7.2)、冷却水进口II(1.7.1)、冷却水出口II(1.7.9)和冷却水出口I(1.7.11)，所述内筒(1.7.12)与外筒(1.7.13)同轴设置，内筒(1.7.12)插置在法兰III(1.7.10)内孔内，外筒(1.7.13)设置在法兰III(1.7.10)内端，法兰II(1.7.8)和法兰I(1.7.7)依次叠层布置在法兰III(1.7.10)外侧，内层玻璃(1.7.6)设置在法兰III(1.7.10)与法兰II(1.7.8)之间，外层玻璃(1.7.5)设置在法兰II(1.7.8)与法兰I(1.7.7)之间，内层玻璃(1.7.6)、外层玻璃(1.7.5)和法兰II(1.7.8)之间围成一封闭容腔，法兰II(1.7.8)上设置有冷却水进口II(1.7.2)和冷却水出口II(1.7.9)，外筒(1.7.12)上设置有冷却水进口I(1.7.1)和冷却水出口I(1.7.11)，所述电极(2.2)包括加热体(2.2.1)、石墨头(2.2.2)、电极体(2.2.3)、电源夹具(2.2.4)、冷却水进口管(2.2.5)和冷却水出口管(2.2.6)，加热体(2.2.1)和电极体(2.2.3)分别设置在石墨头(2.2.2)二端，电源夹具(2.2.4)夹置在电极体(2.2.3)的外缘，冷却水进口管(2.2.5)由电极体(2.2.3)一端插入电极体(2.2.3)中心空腔内，冷却水出口管(2.2.6)设置在电极体(2.2.3)的一端，与电极体(2.2.3)中心空腔相连通，所述快开螺栓(3)由螺母(3.1)、压块(3.2)和螺杆(3.3)组成。