[发明专利]一种高温炉用炭/炭进气喷嘴的制备方法

摘要

本发明涉及一种高温炉用炭/炭进气喷嘴的制备方法，采用针刺平纹炭布准三向结构预制体；通过化学气相渗透、树脂浸渍－炭化致密预制体，反复致密处理数次；在一定的温度下对致密的毛坯进行高温处理，以增大其表面的开孔率，然后进一步进行致密化处理；采用树脂－炭化致密工艺，到密度≥1.75g/cm³时致密工艺结束，最终高温纯化处理后进行机械加工，对表面进行CVD涂层即可制得炭/炭进气喷嘴。本发明采用化学气相渗透、树脂浸渍－炭化相结合的工艺方法致密制成炭/炭喷嘴材料，在用于多晶硅氢化炉用进气喷嘴方面，可有效的提高进气喷嘴的强度，提高喷嘴的抗冲刷能力、耐腐蚀能力，延长喷嘴的使用寿命和降低喷嘴的更换率。

主权项

1、一种高温炉用炭/炭进气喷嘴的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)采用炭布与短炭纤维网胎交替叠层，在厚度方向采用针刺工艺引入垂直增强纤维，制成全炭纤维准三向结构预制体，所述预制体的密度为0.30～0.55g/cm3；(2)化学气相渗透致密处理：以丙烯或天然气为原料在化学气相沉积炉中高温裂解，对步骤(1)中的所述预制体进行化学气相渗透致密处理；所述高温温度为940-1060℃；(3)糠酮树脂或酚醛树脂浸渍-炭化：在1.5-2.0MPa的压力下，在浸渍罐中对步骤(2)中进行化学气相渗透致密处理后的预制体浸渍3.5-4.5小时，出罐后转入固化炉中进行固化处理，再转入炭化炉中进行炭化处理得炭/炭制品；(4)在高温条件下，对步骤(3)中进行炭化处理后的炭/炭制品进行高温处理，所述高温处理温度为1800-2000℃；(5)糠酮树脂或酚醛树脂浸渍-炭化致密工艺，与步骤(3)相同；(6)炭/炭制品密度≥1.75g/cm3时，致密工艺结束，在纯化炉中通入氯气或氟利昂，对炭/炭制品进行高温纯化处理，所述高温纯化处理温度为2300-2500℃；(7)对步骤(6)中进行高温纯化处理后的炭/炭制品进行机械加工；(8)以丙烯或天然气为原料，在化学气相沉积炉中对步骤(7)中进行机械加工后的炭/炭制品进行表面化学气相沉积涂层处理，即制成高温炉用炭/炭进气喷嘴。