[发明专利]射频等离子体探针装置

摘要

本发明涉及到一种射频等离子体探针装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。其特征是由双探针、放大驱动电路、模数/数模转换卡和笔记本电脑构成；除置于等离子体中的双探针外，探针装置的其他组成部分远离等离子体放电系统地；探针装置工作完全依靠装置中的笔记本电脑的电池供电。本发明的效果和益处是：不受射频信号干扰，不仅能够对单一射频放电等离子体进行诊断，而且能够对双频放电等离子体进行诊断；不需要射频扼流圈和辅助电极，探针尺寸小，能够诊断短间隙和小空间放电的等离子体，具有较高的空间分辨能力；使用模数/数模转换卡的模拟输出代替振荡电路或积分电路生成扫描偏置信号，便于根据需要灵活控制扫描偏置信号的波形、幅度和频率。

主权项

1.一种射频等离子体探针装置，包括双探针、放大驱动电路、模数/数模转换卡和笔记本电脑，其特征在于，双探针置于等离子体中，探针装置的其他组成部分远离等离子体放电系统的地，距离大于0.5米；探针装置工作依靠笔记本电脑的电池供电；笔记本电脑由电池供电，不使用交流适配器；探针装置工作所需的扫描偏置信号由模数/数模转换卡的模拟输出提供；放大驱动电路、模数/数模转换卡分别从笔记本电脑的USB接口取电；放大驱动电路所需的正负高电压由笔记本电脑的USB接口输出的5V电压经直流-直流变换模块升压后提供。