[发明专利]一种磁力传动器

摘要

本发明属于工业用机器人技术领域，特别涉及在IC制造产业中，在真空环境中起硅片传输与定位作用的硅片传输机器人用的一种磁力传动器。磁力传动器包括实现转矩传入的动力输入部分，实现转矩输出的动力输出部分，壳体部分和磁路部分；动力输入部分中，动力输入设备通过端键与输入轴相联接，外转子通过键与输入轴相联接，外转子通过深沟球轴承与壳体进行定位；磁路部分中，内转子与内永磁体，外转子与外永磁体的联接方式均采用胶接。本发明的磁力传动器结构紧凑、磁体分布紧密、体积小、传递力矩较大、控制容易、运行平稳、拆装方便、运动惯量小，可应用于洁净度要求较高的真空机器人上。

主权项

1、一种磁力传动器，包括实现转矩传入的动力输入部分、实现转矩输出的动力输出部分、壳体部分和磁路部分，其特征在于：动力输入部分中，动力输入设备通过端键(10)与输入轴(11)相联接，外转子(8)通过键(9)与输入轴(11)相联接，外转子(8)通过深沟球轴承(15)、深沟球轴承(16)和深沟球轴承(20)与壳体(14)进行定位；磁路部分中，内转子(6)与内永磁体(18)，外转子(8)与外永磁体(19)的联接方式均采用胶接，内永磁体(18)和外永磁体(19)均是弧形的片状单元，其中，外永磁体(19)通过强力胶粘接在外转子(8)的内壁上，并通过外转子(8)的轴肩支撑定位；内永磁体(18)通过强力胶粘接在内转子(6)的外壁上，并通过内转子(6)的轴肩支撑定位；内转子(6)上共计粘接有18片内永磁体(18)，相邻两片内永磁体(18)的磁极排布方向采用反向安装，外转子(8)上共计粘接有18片外永磁体(19)，相邻两片外永磁体(19)的磁极分布方向采用反向安装；内永磁体(18)和外永磁体(19)均采取了N、S级交替连续排布的力矩组合推拉的结构形式；壳体部分中，密封罩(1)为T型圆柱状，其中前端薄壁圆筒状的部分安装在内永磁体(18)和外永磁体(19)之间，并且与内永磁体(18)和外永磁体(19)均不发生接触，留有一定间隙；密封罩(1)通过螺栓(21)与壳体(14)相联接，密封罩(1)和壳体(14)之间安装有密封圈(7)，后端盖板(2)通过螺钉(3)与密封罩(1)相联接，密封罩(1)通过内转子(6)上的深沟球轴承(17)，深沟球轴承(22)和外转子(8)上的深沟球轴承(16)进行定位；壳体(14)通过固定在外转子(8)上的深沟球轴承(15)和深沟球轴承(20)进行定位，前端盖板(12)通过螺钉(13)与壳体(14)相联接；动力输出部分中，内转子(6)通过键(5)与输出轴(4)相联接，内转子(6)通过深沟球轴承(17)和深沟球轴承(22)和密封罩(1)进行定位。