[发明专利]太阳能集热管镀膜生产线无效
| 申请号： | 200810010513.5 | 申请日： | 2008-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN101519770A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王光华;郭保安 | 申请（专利权）人： | 沈阳百乐真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人： | 史旭泰 |
| 地址： | 110135辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 太阳能集热管镀膜生产线属于太阳能集热管镀膜生产装置结构的改进。本发明就是提供一种生产效率高，镀膜质量好的太阳能集热管镀膜生产线。本发明包括外环轨，其结构要点是外环轨上依次设置有进管室、镀膜室、出管室，进管室、镀膜室、出管室的入口处、出口处分别设置有门阀、轨道岔口；进管室、镀膜室、出管室分别同真空装置相连；外环轨和进管室、镀膜室、出管室内的内环轨上设置有工件架链，工件架链是由既可绕外环轨、内环轨运转，又可自转的工件架连接组成，内环轨内设置有磁控靶；外环轨侧方的拨叉设置在两个链轮之间的链条上；相应于拨叉的工件架链上设置有拨块。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 热管 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
1、太阳能集热管镀膜生产线，包括外环轨(12)，其特征在于外环轨(12)上依次设置有进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)，进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)的入口处、出口处分别设置有门阀(21)、轨道岔口(35)；进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)分别同真空装置(1)相连；外环轨(12)和进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)内的内环轨(13)上设置有工件架链(18)，工件架链(18)是由既可绕外环轨(12)、内环轨(13)运转，又可自转的工件架(29)连接组成，内环轨(13)内设置有磁控靶(17)；外环轨(12)侧方的拨叉(9)设置在两个链轮(8)之间的链条(11)上；相应于拨叉(9)的工件架链(18)上设置有拨块(10)。
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