[发明专利]非接触式处理套件有效
| 申请号： | 200780047073.4 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101563560A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·布朗;普尼特·班杰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16J15/40 | 分类号： | F16J15/40 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵 飞;南 霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于物理气相沉积处理室的处理套件、以及具有非接触式处理套件的物理气相沉积处理室。在一实施例中，处理套件包括大致柱形的遮蔽件，其具有大致平坦的柱形本体、由该本体向下延伸的至少一个细长柱形环、以及由该本体的上表面向上延伸的安装部。在另一实施例中，处理套件包括大致柱形的沉积环。该沉积环包括大致平坦的柱形本体、向下延伸耦接至该本体外部的至少一个U形通道、由该本体内部区域的上表面向上延伸的内壁、以及由该内壁径向向内延伸的衬底支撑突出部。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 处理 套件 | ||
【主权项】：
1.一种处理套件，其至少包括：大致柱形的遮蔽件，其至少包括：大致平坦的柱形本体，具有上表面，其向下向内端逐渐变细；至少一个细长的柱形环，由该本体向下延伸；以及安装部，由该本体的外壁的本体的上表面向上延伸，该安装部具有径向向外延伸超过该本体的外壁的安装凸缘、由该本体上表面延伸的内壁、以及由该内壁沿径向向外且向上张开的内锥形部。
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