[发明专利]包括参考传感器元件的传感器有效
申请号: | 200780046906.5 | 申请日: | 2007-10-17 |
公开(公告)号: | CN101563591A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 埃莱·海因斯;威廉·莱恩;爱德华·约翰·科因 | 申请(专利权)人: | 模拟装置公司 |
主分类号: | G01J5/06 | 分类号: | G01J5/06;G01J5/08;G01J5/10;G01J5/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王 萍;李春晖 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了一种传感器(800),包括形成在第一衬底(110)中的第一传感器元件(105)和形成在第二衬底(816)中的至少一个光学元件,第一和第二衬底构造成彼此相对以至于第二衬底形成在第一传感器元件之上的盖,至少一个光学元件构造成引导盖上的入射辐射到第一传感器元件。传感器也包括参考传感器元件(105),其输出可以用来提供第一传感器元件的输出的参考。 | ||
搜索关键词: | 包括 参考 传感器 元件 | ||
【主权项】:
1、一种电磁辐射传感器,具有形成在第一衬底中的第一和第二传感器元件和形成在第二衬底中的第一和第二盖,第一和第二衬底彼此相对布置以使得第一和第二传感器元件的每个具有提供于其上方的相应的盖,从而提供第一和第二单元,其中第一单元提供基于第一响应特征的输出,和第二单元提供基于第二响应特征的输出。
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