[发明专利]等离子体设备和系统有效
| 申请号： | 200780043781.0 | 申请日： | 2007-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101605625A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 | 申请（专利权）人： | 弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 |
| 主分类号： | B23K9/00 | 分类号： | B23K9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张群峰;曹 若 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种双等离子体设备，包括阳极等离子体头和阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极和等离子体流动通道和在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口。阳极等离子体头和阴极等离子体头定位成朝彼此成一角度。至少一个等离子体流动通道包括三个大体为圆柱形的部分。等离子体流动通道的这三个大体圆柱形部分减少了侧面起弧的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 设备 系统 | ||
【主权项】：
1.一种双等离子体设备，包括：阳极等离子体头和阴极等离子体头，每个所述等离子体头包括电极和等离子体流动通道和布置在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口，所述阳极等离子体头和所述阴极等离子体头定向为朝彼此成一角度；以及至少一个所述的等离子体流动通道包括：第一大体圆柱形部分，与所述电极相邻并具有直径D1；第二大体圆柱形部分，与所述第一部分相邻，具有直径D2；以及第三大体圆柱形部分，与所述第二部分相邻，具有直径D3，其中D1＜D2＜D3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫，未经弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780043781.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
