[发明专利]与用于过程中的稳态检测的多元分析一起使用的统计特征

摘要

检测加工厂的过程的稳态操作的方法和系统，包括采集过程数据。所采集的过程数据根据所述过程的多个过程变量生成。使用所述过程数据生成过程操作的多元统计模型。所述多元统计模型可以根据主成分分析生成。执行该模型以生成与所述过程中的最重要变化相对应的输出。生成所述输出的统计测量值，并将其用于确定所述过程是与稳态还是与非稳态相关。

主权项

1、一种便于检测加工厂中过程的稳态操作的系统，该系统包括：数据采集工具，适于从加工厂内的过程采集过程数据，其中所采集的过程数据表示所述过程的操作，并且其中所采集的过程数据根据多个过程变量生成；分析工具，包括多元统计分析引擎，所述多元统计分析引擎适于基于表示过程操作的所采集的过程数据的集合生成所述过程操作的表示，其中所述分析工具适于基于所采集的过程数据的集合执行所述表示，以生成与所述过程中的最大变化量对应的第一结果；以及统计计算工具，适于对与所述过程中的最大变化量对应的第一结果施行统计计算，以生成所述第一结果的统计测量值，并且适于基于所述统计测量值确定关于所述过程的稳态操作状态。