[发明专利]用于在X-Y高速钻孔系统中采用谐振扫描仪的系统与方法

摘要

公开了一种用于在目标位置提供相对小速度的激光束、同时至少一个扫描仪以相对大速度扫描的激光处理系统。该系统包括激光源、第一扫描单元、扩束器、第二扫描单元和聚焦光学器件。激光源用于提供具有至少一个有射束尺寸的射束的脉冲激光输出。第一扫描单元用于在目标位置沿第一轴的第一方向扫描激光输出。扩束器用于接收激光输出并用于改变激光输出的射束直径并提供改变后的激光输出。第二扫描单元用于在目标位置沿第一轴的第二方向扫描来自扩束器的改变后的激光输出。该第二方向基本上与沿第一轴的第一方向相反，使得在目标位置沿第一轴的改变后的激光输出的净速度可以在激光脉冲期间有效地成为零。聚焦光学器件用于将改变后的激光输出朝目标位置聚焦。

主权项

1、一种激光处理系统，用于在目标位置提供相对小速度的激光束，同时至少一个扫描仪以相对大速度进行扫描，所述系统包括：激光源，用于提供脉冲激光输出，该激光输出具有至少一个有射束尺寸的射束；第一扫描单元，用于在目标位置沿第一轴的第一方向扫描所述激光输出；扩束器，用于接收激光输出，并且用于改变激光输出的射束直径并提供改变后的激光输出；第二扫描单元，用于在目标位置沿第一轴的第二方向扫描来自扩束器的改变后的激光输出，所述第二方向基本上与沿第一轴的所述第一方向相反，使得在目标位置沿第一轴的改变后的激光输出的净速度可以在激光脉冲期间有效地减小到相对小的速度；及聚焦光学器件，用于将改变后的激光输出朝目标位置聚焦。