[发明专利]聚焦光束椭偏仪无效
| 申请号： | 200780023307.1 | 申请日： | 2007-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101473212A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李仲焕;高永俊;朴永善;朴允钟;郑致云;芮相宪;赵龙在;赵贤模;诸葛园 | 申请（专利权）人： | 韩国标准科学研究院;科美仪器株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及椭偏仪，尤其涉及一种对具有特定偏振的光在该光入射到试样表面上然后在该试样表面上反射之后的偏振差异进行分析以便得到该试样的光学特性的椭偏仪。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 光束 椭偏仪 | ||
【主权项】：
1、一种椭偏仪，包括：光源；设置有使从所述光源发出的光偏振的偏振器的光源部模块；对由所述光源部模块偏振的光进行分束的分束器；允许由所述分束器分束后的光的一部分通过并且会聚照射到试样上的物镜；设置有偏振器的光接收部模块，该光接收部模块用于使在所述试样上反射的光椭圆偏振并且接收在所述试样上反射并且通过所述物镜和所述分束器的光；利用单元装置检测由所述光接收部模块接收到的光的光检测器；以及处理装置，其用于将所述光检测器检测到的光的强度校正为对应于所述光检测器的沿着多个入射面的通路的单元装置的值，并且对该值进行处理。
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