[发明专利]涂布过程的控制

摘要

公开了一种用于对样品的涂布进行控制的装置、系统和方法。示例性的系统可以具有用于提供样品的制造装置，所述样品具有与一个或多个涂布特征相关联的一个或多个样品特征。该示例性的系统可以具有用于确定所述一个或多个样品特征的样品传感器，和具有制造控制器，所述制造控制器用于控制所述制造装置并根据所确定的一个或多个样品特征控制由所述制造装置提供的所述样品的一个或多个特征。该示例性的系统还可以具有涂布装置，用于向具有所述一个或多个涂布特征的所述样品提供涂布；涂布传感器，用于确定所述一个或多个涂布特征；和涂布控制器，用于控制所述涂布装置并根据所确定的一个或多个涂布特征控制由所述涂布装置提供的所述涂布的所述一个或多个特征。

主权项

1、一种用于提供样品涂布的装置，包括：制造装置(202)，用于提供样品(204)，所述样品具有与一个或多个涂布特征相关联的一个或多个样品特征；样品传感器(214)，用于确定一个或多个样品特征，所述样品特征至少包括所述样品的气孔度或渗透性；制造控制器(216)，用于控制所述制造装置并根据所确定的一个或多个样品特征对所述制造装置所提供的所述样品的一个或多个特征进行控制；涂布装置(206)，用于向具有所述一个或多个涂布特征的所述样品提供涂布；涂布传感器(210)，用于确定所述一个或多个涂布特征；和涂布控制器(212)，用于控制所述涂布装置并根据所确定的一个或多个涂布特征对所述涂布装置所提供的所述涂布的一个或多个特征进行控制。