[发明专利]三元铝合金薄膜和靶有效
| 申请号： | 200780010340.0 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101405430A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | J·萨卡;C·罗;P·S·吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/09;C22C21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘元金;林 森 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了平板显示器制造用的物理蒸气沉积靶。该靶包括一种三元合金体系，该体系以原子百分率计有数量约90～99.98的第一组分，其中第一组分是铝；数量约0.01～2.0的第二组分，其中第二组分是一种选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组的稀土元素；和数量约0.01～8.0的第三组分，其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf。 | ||
| 搜索关键词： | 三元 铝合金 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种平板显示器制造用物理蒸气沉积靶，包含：一种三元合金体系，包含以原子％计，数量约90～99.98的第一组分，其中第一组分是铝；数量约0.01～2.0的第二组分，其中第二组分是一种稀土元素，选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组；和数量约0.01～8.0的第三组分，其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf组成的一组。
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