[实用新型]一种多晶硅分凝铸锭炉

摘要

一种多晶硅分凝铸锭炉，包含可分离的炉盖，炉身和炉底装置；该炉身内设置有硅料容纳装置和若干均匀分布的加热装置；该硅料容纳装置通过连接机构与炉底连接固定；该加热装置包含加热元件和控制该加热元件升降的运动控制装置；该炉底装置包含炉底，与炉底连接的升降装置，以及和该升降装置连接的水平移动装置；本实用新型还包含一自动实时的控制炉内温度变化和加热元件升降速度的控制系统。本实用新型可自动实时的控制加热元件的升降和炉内温度变化，使硅料的固液界面达到良好的控制，获得最优的结晶效果和去杂效果。

主权项

1.一种多晶硅分凝铸锭炉，包含可分离的炉盖(1)，炉身(2)和炉底装置，其特征在于；所述的炉身(2)内设置有硅料容纳装置和若干均匀分布的加热装置；所述的硅料容纳装置通过连接机构(12)与炉底(3)连接固定；所述的加热装置包含加热元件(7)和控制该加热元件(7)升降的运动控制装置；所述的炉底装置包含炉底(3)，与该炉底(3)连接的升降装置(5)，以及和该升降装置(5)连接的水平移动装置(4)。