[实用新型]具机械阀的清洁设备无效
| 申请号： | 200720183599.2 | 申请日： | 2007-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN201091870Y | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈祈雅 | 申请（专利权）人： | 澔睿股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/00 | 分类号： | B08B5/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨俊波 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具机械阀的清洁设备，包含一清洁装置及一晶片盒。清洁装置包含一支撑平台、一第一管线及一第一机械阀。第一机械阀装设于支撑平台上，第一机械阀连接至第一管线。晶片盒包含一底部、一腔室及一第一连接部。第一连接部设置于底部，第一连接部连接至第一机械阀以开启第一机械阀，使第一管线中的一清洁媒介通过第一机械阀注入至腔室中。本实用新型能简化配置及降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 清洁 设备 | ||
【主权项】：
1.一种具机械阀的清洁设备，其特征在于，包含：一清洁装置，其包含一支撑平台、一第一管线及一第一机械阀，所述第一机械阀装设于所述支撑平台上，所述第一机械阀连接至所述第一管线；及一晶片盒，其包含一底部、一腔室及一第一连接部，所述第一连接部设置于所述底部，所述第一连接部连接至所述第一机械阀以开启所述第一机械阀，使所述第一管线中的一清洁媒介通过所述第一机械阀注入至所述腔室中。
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