[实用新型]溅镀机的阀门控制装置无效
| 申请号： | 200720175937.8 | 申请日： | 2007-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN201102983Y | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 刘镒诚 | 申请（专利权）人： | 建铯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人： | 孙刚 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种溅镀机的阀门控制装置，其包括有一阀门本体、一连接杆及一阀门，阀门本体设有一通孔，该通孔一侧的内周缘设有抵压面；该连接杆的两端，分别朝外延伸有偏心轴，该偏心轴的直径小于连接杆，该两端偏心轴可枢设于通孔两端，并使一端的偏心轴可穿出通孔与动力源形成相结合，而能由动力源驱使连接杆转动；藉由连接杆两端的偏心轴，当连接杆转动时，会受偏心轴的直径差，而使较大直径的连接杆转动时，阀门能更靠近抵压面，达到确实的密合。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀机 阀门 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀机的阀门控制装置，其包括：一阀门本体，该阀门本体设于一溅镀机的两腔室间，该阀门本体设有一通孔，该通孔一侧的内周缘设有抵压面；其中该阀门本体外侧设有一动力源；其特征在于：一连接杆，该连接杆的两端，分别朝外延伸有偏心轴，该偏心轴的直径小于连接杆的直径，该两端偏心轴枢设于阀门两端，一端的偏心轴穿出通孔与用以驱动连接杆转动的动力源相连结；其中该连接杆上固设有数挡板；一阀门，该阀门设于挡板与抵压面间，且该阀门相对于抵压面的一面周缘设有一O型环，阀门及O型环密合压抵于抵压面上。
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