[实用新型]一种外延尾气处理器快速维护的装置无效
| 申请号： | 200720169417.6 | 申请日： | 2007-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201061754Y | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 何自强;冯泉林;常青 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种外延尾气处理器快速维护的装置，它包括：水池、水雾过虑器，盲板，所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管道：氮气吹扫管道，连接水泵的自来水或普通水管道，超声波发生器的探头。本实用新型优点是：在超声波的作用下，絮状硅化物被破碎成细小的颗粒而易于排掉，避免了原来拆开管路和盲板的麻烦，并避免了接口处卡箍的安装和拆卸以及由于卡箍反复装拆可能导致的管路漏气。缩短外延维护时间，延长尾气处理器的维护周期，进而整体上提高外延工艺的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 尾气 处理器 快速 维护 装置 | ||
【主权项】：
1.一种外延尾气处理器快速维护的装置，它包括：水池、水雾过虑器，盲板，其特征在于：所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管道：氮气吹扫管道，连接水泵的自来水或普通水管道，超声波发生器的探头。
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