[实用新型]处理废弃光刻胶的装置无效
| 申请号： | 200720149142.X | 申请日： | 2007-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN201035319Y | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 朴成哲;黄福林 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种处理废弃PR胶的装置，包括排液空腔、排液斜坡、接入口、真空口、排液口以及设置在所述排液空腔内的挡片，所述的挡片为一个以上。本实用新型使得气体状溶解液在接入口与真空口之间不能形成气流，有效的防止气体状溶解液进入真空管道，解决了真空管道易堵塞的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 废弃 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1.一种处理废弃光刻胶的装置，包括排液空腔、排液斜坡、接入口、真空口、排液口以及设置在所述排液空腔内的挡片，其特征在于，所述的挡片为一个以上。
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