[实用新型]溅镀机的冷却装置无效
| 申请号： | 200720141078.0 | 申请日： | 2007-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN201031253Y | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 赖翠仙 | 申请（专利权）人： | 建铯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人： | 孙刚;赵海生 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种溅镀机的冷却装置，系针对于溅镀过程易累积高温，造成变形与不良品问题，特于输送带结构或/及防着板结构的异于溅镀区方向，锁设可拆离的冷却装置，冷却装置可为水冷、液冷或热管冷却等，以冷却装置降低高温，从而，可使制程速度减缓，制程长度也可缩短，良率也可提升。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀机 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀机的冷却装置，包含有：一用于进行溅镀作业的溅镀源、一防着板结构、一用于输送置物板经过溅镀源的输送带结构及用于被镀物放置的数置物板；其特征在于，该防着板结构位于输送带结构两侧；该防着板结构或/和输送带结构异于溅镀区方向的表面，锁固有可拆离的用于降温溅镀废热的冷却装置，该冷却装置包含有一控制冷却效率的控制结构。
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