[实用新型]晶圆放置盒的晶圆固定装置无效
| 申请号： | 200720140968.X | 申请日： | 2007-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN201027021Y | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 翁连波;简志聪;张耀中 | 申请（专利权）人： | 亿尚精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D77/26;B65D85/30;B65D81/02 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所 | 代理人： | 张俊阁 |
| 地址： | 中国台湾高雄县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶圆放置盒的晶圆固定装置。该晶圆放置盒包含一个壳盖及一个底座，该底座上放置数个晶圆，所述的晶圆固定装置包含一个固定垫、一个支持板及一个连接固定装置，该固定垫用于抵推固定所述的晶圆，该支持板连接并稳固支撑固定垫，该连接固定装置连接支持板及壳盖，当支持板受到底座抵推移动时，该固定垫随着该支持板的移动而抵推固定所述的晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 放置 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆放置盒的晶圆固定装置，其特征在于，该晶圆放置盒包含一个壳盖及一个底座，该底座上承载数个晶圆，该晶圆放置盒的晶圆固定装置包含：一个固定垫，其用于抵推固定所述数个晶圆；一个支持板，其连接并稳固支撑该固定垫；及一个连接固定装置，其连接该支持板及该壳盖；当支持板受到底座抵推移动时，固定垫随着该支持板的移动而抵推固定所述数个晶圆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亿尚精密工业股份有限公司，未经亿尚精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200720140968.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无热应力柔性钢管锅炉
- 下一篇：一种拨动式紧急制动装置
