[实用新型]基于碳纳米管微气泡发生器的喷印阀

摘要

本实用新型公开一种基于碳纳米管微气泡发生器的喷印阀。喷印阀由制作有碳纳米管微气泡发生器的玻璃衬底或硅衬底和经微加工的硅基底键合而成。碳纳米管、二个金电极以及二氧化硅层构成碳纳米管微气泡发生器；碳纳米管架设于金电极之间；碳纳米管与金电极的接触部位覆盖二氧化硅层；硅基底上开有通孔作为进液管，在硅基底的表面开有与进液管相连的凹槽；衬底与硅基底键合，使碳纳米管微气泡发生器与凹槽的位置相对，形成喷嘴。本实用新型克服了传统微气泡发生器功耗大的缺点，并具有良好的高密度集成的潜力，在先进制造领域具有广泛的应用前景。

主权项

1.一种基于碳纳米管微气泡发生器的喷印阀，其特征在于：衬底(1)为玻璃片或生长有氧化层的硅片，在衬底(1)上设置有二个金电极(31、32)，在二个金电极(31、32)与衬底(1)之间镀有钛粘结层(21、22)，钛粘结层(21、22)的厚度为10～30nm，二个金电极(31、32)之间的距离为1～10μm，金电极(31、32)的厚度为300～400nm；碳纳米管(4)架设于金电极(31、32)之间，碳纳米管(4)的直径为10～30nm；碳纳米管(4)与金电极(31、32)的接触部位覆盖有厚度为100～200nm的二氧化硅层(51、52)；碳纳米管(4)、二个金电极(31、32)以及二氧化硅层(51、52)构成碳纳米管微气泡发生器；硅基底(8)上开有直径为30～80μm的通孔作为进液管(7)；在硅基底(8)的表面开有与进液管(7)相连的凹槽(9)，凹槽(9)的长度为300～900μm，宽度为40～100μm；衬底(1)与硅基底(8)键合，使上述碳纳米管微气泡发生器与凹槽(9)的位置相对，形成喷嘴(6)。