[实用新型]多晶硅定向凝固下拉晶体生长的重心驱动传动机构无效

专利信息
申请号: 200720076665.6 申请日: 2007-10-25
公开(公告)号: CN201116314Y 公开(公告)日: 2008-09-17
发明(设计)人: 周鸿军;张泰生;李红波 申请(专利权)人: 上海太阳能工程技术研究中心有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/06
代理公司: 上海航天局专利中心 代理人: 郑丹力
地址: 200243上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种太阳能级多晶硅铸锭炉,具体涉及一种太阳能级多晶硅铸锭炉中实现多晶硅定向凝固下拉晶体生长技术要求的传动机构。本实用新型结构主要包括特种精密减速器和精密滚珠丝杠等主要零件的回转实现晶体生长下拉的技术要求。由密封圈和零件中空腔等形成冷却水的进出冷却晶体,实现晶体生长定向凝固的要求;由轴承座、轴承、V带轮及联结法兰等主要零件的回转实现晶体生长的回转要求。本实用新型的优点是经济、可靠、稳定及易于批量生产。
搜索关键词: 多晶 定向 凝固 下拉 晶体生长 重心 驱动 传动 机构
【主权项】:
1、一种多晶硅定向凝固下拉晶体生长的重心驱动传动机构,其特征是,带键的精密滚珠丝杠中心竖立安装于精密减速器上,精密滚珠丝杠的螺母法兰紧固于丝杠座上,外加回转马达连接于精密减速器;丝杠座、具有进水口的进水座和具有出水口的出水座紧固连接形成进出水路;出水座、轴承座分别与联结法兰紧固连接;联结法兰上设有螺钉孔,藉此和外加的导向滑块连接;带键的V带轮固定于密封外套上,外加动力皮带连接于V带轮上。
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