[实用新型]一种调节精密磨抛头压力的装置无效
| 申请号： | 200720065561.5 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN201140358Y | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 周健伊;程远贵;易臻希;蒋超;陈延斌 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种调节精密磨抛头压力的装置，用于半导体器件制造的精密磨抛机，它有由撑杆连接的顶板及活塞套支撑板，活塞套支撑板下方有驱动环组件和磨头板，活塞套置于活塞套支撑板上，装在活塞套中的活塞杆的下端面置于磨头板上，抽气杆装在所述活塞杆中且该抽气杆上端接有真空接嘴；所述活塞杆的上端由活塞套顶端伸出且其上装有锁紧帽，该锁紧帽一侧的径向螺孔中装有相对于所述活塞杆止动的止动螺钉，负载螺母的下端套装在所述活塞套的上端且二者用螺纹连接，弹簧装在锁紧帽底部与负载螺母的支承台阶之间。它利用弹簧力控制精密磨抛头对磨抛样品压力进行调节，结构简单、性能可靠，还能够应用于机械、玻璃、陶瓷等许多领域的磨抛加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 精密 磨抛头 压力 装置 | ||
【主权项】：
1、一种调节精密磨抛头压力的装置，有由撑杆(5)连接的顶板(6)及活塞套支撑板(4)，所述活塞套支撑板(4)下方有驱动环组件(1)和磨头板(3)，活塞套(13)置于所述活塞套支撑板(4)上，装在活塞套(13)中的活塞杆(10)的下端面置于磨头板(3)上，抽气杆(8)装在所述活塞杆(10)中且该抽气杆(8)上端接有真空接嘴(7)，其特征是，所述活塞杆(10)的上端由活塞套(13)顶端伸出且其上装有锁紧帽(9)，该锁紧帽(9)一侧的径向螺孔中装有相对于所述活塞杆止动的止动螺钉(14)，负载螺母(12)的下端套装在所述活塞套(13)的上端且二者用螺纹连接，弹簧(11)装在锁紧帽(9)底部与负载螺母(12)的支承台阶之间。
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