[实用新型]离子束发生装置无效
申请号: | 200720043540.3 | 申请日: | 2007-10-08 |
公开(公告)号: | CN201113231Y | 公开(公告)日: | 2008-09-10 |
发明(设计)人: | 吴志良;叶鹏 | 申请(专利权)人: | 叶鹏;吴志良 |
主分类号: | H01T23/00 | 分类号: | H01T23/00 |
代理公司: | 无锡华源专利事务所 | 代理人: | 聂汉钦 |
地址: | 214174江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及离子束发生装置,包括腔体,腔体上开有空气入口及离子束出口,所述腔体由顺序连接的主腔体、上腔体及副腔体构成,所述空气入口位于所述主腔体上,所述离子束出口有二个,一级离子束出口位于所述主腔体的尾部,二级离子束出口位于所述副腔体的出口端,所述主腔体内顺序装置平面涡流器及第一离子束发生器,所述上腔体内装置螺旋涡流器,所述副腔体内装置第二离子束发生器。本实用新型可通过两级离子束发生器使气体导流、加速、聚焦及电离,可以生成高密度、高能量、高纯度的离子束。 | ||
搜索关键词: | 离子束 发生 装置 | ||
【主权项】:
1.离子束发生装置,包括腔体,腔体上带有空气入口及离子束出口,其特征在于所述腔体由顺序连接的主腔体、上腔体及副腔体构成,空气入口位于主腔体上,所述离子束出口有二个,一级离子束出口位于主腔体的尾部,二级离子束出口位于所述副腔体的出口端,所述主腔体内顺序装置平面涡流器及第一离子束发生器,所述上腔体内装置螺旋涡流器,所述副腔体内装置第二离子束发生器。
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