[实用新型]高温还原炉的进、出气管装置无效
申请号: | 200720039177.8 | 申请日: | 2007-05-31 |
公开(公告)号: | CN201050940Y | 公开(公告)日: | 2008-04-23 |
发明(设计)人: | 周大荣;王军 | 申请(专利权)人: | 无锡中彩科技有限公司 |
主分类号: | F27D7/00 | 分类号: | F27D7/00;F27B5/06;C01B33/02 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214183江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种高温还原炉配件,尤其是一种用于高温还原炉所使用的进、出气管装置,按照实用新型提供的技术方案,它在尾气出气管外面套接筒状外壳,在外壳上设有原料气体进气管,外壳周壁上开设的若干回气孔,在尾气出气管外壁与外壳内壁之间架设有柱形管连通,回气孔利用柱形管与尾气出气管相连通,外壳上开设若干原料气体喷出口,原料气体由原料气体进气管通入经过外壳与尾气出气管所夹而形成的通道后从原料气体喷出口向还原炉内喷出。本实用新型外部设置进气管、内部设置回气管形式并能有效延长进、出气管与还原炉底板之间密封圈的寿命,有利于制备更高品质的多晶硅。 | ||
搜索关键词: | 高温 还原 气管 装置 | ||
【主权项】:
1.一种高温还原炉的进、出气管装置,其特征是:在尾气出气管(2)的外面套接筒状外壳(5),在外壳(5)上设有原料气体进气管(1),外壳(5)的周壁上开设有若干回气孔(3),在尾气出气管(2)与外壳(5)之间架设有柱形管(4),回气孔(3)利用柱形管(4)与尾气出气管(2)相连通,外壳(5)上开设若干原料气体喷出口(6),原料气体由原料气体进气管(1)通入,经外壳(5)与尾气出气管(2)围成的通道,从原料气体喷出口(6)向还原炉内喷出。
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