[实用新型]智能热盘温度控制器有效
| 申请号： | 200720014345.8 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN201075184Y | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 赵乃霞 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种智能热盘温度控制器，温度控制器具有主控制电路，其输入端通过温度检测电路接有热盘温度传感器，输出端通过温度控制电路接至热盘加热装置，主控制电路还接有人机接口电路，所述主控制电路以单片机为控制核心，其内部存有热盘温度控制程序；主控制电路还接有故障检测和保护电路，其中故障检测电路除采集上述温度检测电路的温度值外还采集热盘电流值，保护电路；还设有参数掉电保护电路，通过数据线及时钟线与主控制电路相连。本实用新型温度控制精确、恒定、响应迅速，重复开机时温度的重复性一致，能够准确跟踪工艺过程，提高成品率，调试方便省时。 | ||
| 搜索关键词： | 智能 温度 控制器 | ||
【主权项】：
1.一种智能热盘温度控制器，其特征在于：具有主控制电路，其输入端通过温度检测电路接有热盘温度传感器，输出端通过温度控制电路接至热盘加热装置，主控制电路还接有人机接口电路，所述主控制电路以单片机为控制核心，其内部存有热盘温度控制程序。
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