[实用新型]一种紫外曝光机有效
| 申请号： | 200720008960.8 | 申请日： | 2007-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN201122230Y | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 林丹;潘守兴;朱丽娟;林磊 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350014福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种紫外曝光机，包括壳体、光源控制系统和曝光室，曝光室设有盖板、曝光平台和发光装置，曝光平台设在发光装置的上方，曝光平台的下方设有气孔，发光装置的下方设有散热装置，发光装置由光源控制系统连接控制，壳体一侧设有光源控制系统的操作指示面板，其中发光装置包括印刷电路板和阵列式均匀排列在印刷电路板上的紫外发光二极管，采用以上结构，紫外发光二极管具有寿命长、耗电少、启动快等优点，能满足不同尺寸晶圆的曝光需要，从而达到曝光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 曝光 | ||
【主权项】：
1、一种紫外曝光机，包括壳体、光源控制系统和曝光室，曝光室设有盖板、曝光平台和发光装置，曝光平台设在发光装置的上方，曝光平台的下方设有气孔，发光装置的下方设有散热装置，发光装置由光源控制系统连接控制，壳体一侧设有光源控制系统的操作指示面板，其特征在于：发光装置包括印刷电路板和阵列式均匀排列在印刷电路板上的紫外发光二极管。
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