[实用新型]介质阻挡分区放电通道装置无效
| 申请号： | 200720003194.6 | 申请日： | 2007-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN201018710Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 王守国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100010北京市东城*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种介质阻挡分区放电通道装置，包括一个控制壳体，高频电源，供气源，放电主体等，其在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体管路，在壳体的正面设有控制开关，在控制壳体的上面设有上下两块平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板，在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板，该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道，在上玻璃板的中部位置开有进气孔，在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极，称为上电极，在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极，称为地电极，在通道中的气体被电离形成等离子体，进而可以用来对穿过该通道的材料进行表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 阻挡 分区 放电 通道 装置 | ||
【主权项】：
1.一种介质阻挡分区放电通道装置，包括一个控制壳体，高频电源系统，供气源，等离子体放电主体，其特征在于：在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体流量计，在壳体的正面为系统控制板面，在壳体的上面设有上下平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板，在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板，该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道，在上玻璃极板的中间位置设有进气孔，在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极，称为上电极，在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极，称为地电极。
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