[发明专利]一种检测无水肼的LB膜气体传感器无效
| 申请号： | 200710304642.0 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101470092A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郭云;杨德全;张剑锋;王润福;熊玉卿;孙岩 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30;G01N27/407 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 730000甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测无水肼的LB膜气体传感器，属于制造领域，包括敏感薄膜、基片、微电极、电源、电流表；通过掩膜方法在玻璃基底上刻蚀出微电极Al电极，利用单分子层转移膜的方法将敏感薄膜覆盖在微电极Al电极上，同时也与玻璃基底有接触，电源、电流表和微电极成串联关系。其中，敏感薄膜采用二硫杂环戊二烯络合物LB膜；基片采用表面的光洁程度玻璃或者石英玻璃；微电极采用厚度250-350nm、50微米的微电极宽度、欧姆接触电阻最小金属Al；电源：输出为0～200V；电流表：灵敏度为10-10A。本发明的有益效果为：检测的灵敏度要高，对肼浓度的检测限应达到0.05ppm即50ppb。肼气体传感器体积小、重量轻，特别是使用其敏感薄膜选择性强、灵敏度高的特点，补偿了平面叉指微电极传感器输出信号较弱的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 无水 lb 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于无水肼探测的二硫杂化环戊二烯络合物LB膜，包括敏感薄膜、基片、微电极、电源、电流表；其特征在于连接关系为：通过掩膜方法在玻璃基底3上刻蚀出微电极Al电极1，利用单分子层转移膜的方法将敏感薄膜2覆盖在微电极Al电极1上，同时也与玻璃基底有接触，电源、电流表和微电极1成串联关系。
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